真空电镀-瑞泓科技有限公司-真空电镀加工厂家

工艺关键词:电离惰性气体轰击靶材、靶材脱落沉积冷却成膜

溅镀的原理，是镀膜机腔体抽真空，直接以薄膜材料(靶材)当做电极，利用电极间见通电5kv~15kv产生的电浆轰击靶材，同时通入气体，气体发生离子化，粒子在电浆内移动，离子撞击靶材并使靶材表面原子脱离进而沉积在基板上，冷却浓缩成薄膜。

磁控溅镀

在直流溅镀或射频溅镀的基础上改进电极结构，亦即再把阴极内侧装置一磁铁，并使磁场方向垂直于极暗区电场方向，以便用磁场约束带电粒子的运转，这种溅射法称为磁控溅射。

由于磁场的作用力与电子的运转方向垂直，将形成电子回旋运动的向心力，此时中性物种间的撞击机率提高，始之在较低的压力下即能制作薄膜。

除了低压外，磁控溅射的另两项有优点就是高速，真空电镀加工厂家，低温，因此也称之为高速低温溅镀法。

但是磁控溅镀也存在一些问题，如就平板磁控电极磁控电极而言，靶材中央及周边不为垂直于电厂的磁场分量越来越小，亦即与靶材表面平行的磁场分量小，使得在靶材表面的一个环形区域被溅射的异常快，而中央和边缘处溅射的少，如此下去便会出现w形侵蚀谷，使的靶材利用率降低，并且可能对薄膜的均匀性产生影响。

真空电镀适用材料

1.很多材料可以进行真空电镀，包括金属，软硬塑料，复合材料，陶瓷和玻璃。其中常见用于电镀表面处理的是铝材，真空电镀，其次是银和铜。

2.自然材料不适合进行真空电镀处理，因为自然材料本身的水分会影响真空环境。

真空电镀是常见的金属表面处理技术。由于不需要模具，所以工艺成本很低，非常适合用于早期产品手板，让---在设计过程中能对产品成品有---的把握

栩栩如生的色彩也可以应用在真空电镀中，使产品表面达到阳极铝，亮铬，金，银，铜和炮铜（一种铜锡合金）的效果