




蒸镀原理
电阻加热蒸镀法
主要利用电流通过电阻时会产生热能来对薄膜材料间接加热。装置如下
电阻加热蒸镀法
电阻加热法的缺点:
1. 需先加热蒸发源再传热给薄膜材料,蒸发源易与材料起作用或引升杂质;
2. 蒸发源加热温度有限,耳机配件真空电镀,对高熔点之氧化物大多无法熔融蒸镀;
3. 蒸镀速度有限;
4. 如镀膜材料为化合物,则有分解之可能;
5. 膜质不硬,密度不高,附着性较差。

真空电镀反应溅射:
1.在溅射镀膜时,有意识地将某种反应性气体如氮气,耳机配件真空电镀哪里近,氧气等引入溅射室并达到一定分压,即可以改变或者控制沉积特性,从而获得不同于靶材的新物质薄膜,2.如各种金属氧化物、氮化物、碳化物及绝缘介质等薄膜。
3.直流反应溅射存在靶z毒,阳极消失问题,上个世纪80年代出现的直流脉冲或中频孪生溅射,耳机配件真空电镀哪里近,使反应溅射可以---的工业应用。
4.反应磁控溅射所用的靶材料(单位素靶或多元素靶)和反应气体(氧、氮、碳氢化合物等)通常很容易获得---的纯度,因而有利于制备高纯度的化合物薄膜。
5.反应磁控溅射中调节沉积工艺参数,可以制备化学配比或非化学配比的化合物薄膜,耳机配件真空电镀表面处理,从而达到通过调节薄膜的组成来调控薄膜特性的目的。
6.反应磁控溅射沉积过程中基板温度一般不会有很大的升高,而且成膜过程通常也并不要求对基板进行---温度的加热,因而对基板材料的---较少。
7.反应磁控溅射适合于制备大面积均匀薄膜,并能实现对镀膜的---工业化生产。
真空镀膜和光学镀膜的概念和区别
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。
2、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。

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